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日本WAIDA圓片平面磨床 GCG-300

圓片平面磨床GCG-300高平整度、高平滑面、低損傷層、加工工藝集中的超精密平面磨床用途300 mm圓片超精密平面磨削材料硅晶片主要特征追求剛性,橫向配置2個加工頭,節省空間通過採用追求剛性的臥式凹槽,實現硅片表面的高平坦度和低磨損磨削,降低後工序的負荷,提高總生產率高剛性空氣靜壓主軸用於砂輪主軸和工件主軸。加工事例

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产品详情

圓片平面磨床

GCG-300

高平整度、高平滑面、低損傷層、加工工藝集中的超精密平面磨床

用途300 mm圓片超精密平面磨削
材料硅晶片

主要特征

  • 追求剛性,橫向配置2個加工頭,節省空間

  • 通過採用追求剛性的臥式凹槽,實現硅片表面的高平坦度和低磨損磨削,降低後工序的負荷,提高總生產率

  • 高剛性空氣靜壓主軸用於砂輪主軸和工件主軸。

  • 加工事例